中国大陆半导体前道制造设备数据月报（2022-122）

半导体行业综研|Semiconductor industry|

2023-02-24 09:41:36 715

数据概览：

根据中国大陆海关说明，半导体前道制造设备可分为以下类别，分别对应前道制造中的热处理、CVD、PVD、其他沉积、光刻、干法刻蚀、其他刻蚀与离子注入等流程。

以下为数据的统计结果图表：

*近3月，中国大陆半导体前道制造设备进口金额为3919.5百万美元，较去年同期下降28.8%。除了其他沉积设备进口金额增加以外，其余设备进口金额同样均有不同比例的减少。但是，由于其他沉积设备进口金额占比仅有1.7%，其意义不明显。所以，中国大陆半导体前道制造设备进口总体呈下降趋势。

热处理设备数据明细：

2022年自10月起，热处理设备进口金额明显减少，10~12月的总进口金额为337.8百万美元，同下降22.9%，环比下降24.8%。如下图所示，来自日本的进口占比长期过半，2022年占比近六成；相比于2022年上半年，下半年来自美国的进口金额大幅下降，环比下降69.4%。

CVD设备数据明细：

尽管*近3月CVD设备进口金额同比下降22.3%，但这很大程度上是因为于2021年11月异常高的数值，相比于热处理设备，CVD设备的进口金额较为平稳。按贸易地区看，2022年，来自马来西亚的进口金额大幅增加，同比增长超五倍。

PVD设备数据明细：

*近3月，PVD设备的进口金额为205.9百万美元，环比下降43.8%。如下图，虽然在2022年来自新加坡的进口金额所占比重*大，但在10~12月，来自新加坡的进口金额明显下降，在10月无进口，同比下降82.3%，环比下降89.3%。

其他沉积设备数据明细：

其他沉积设备进口金额在各设备中占比*小。2022年，其他沉积设备的进口金额波动较大。来自各贸易地区的进口金额同样具有高波动性，以美国为例，在1~9月，来自美国的进口金额占比为49.5%，接近一半；到了10~12月，这个数字却仅有29.7%。

步进光刻设备数据明细：

在2022年，步进光刻设备的进口金额比较稳定，但12月的进口金额明显下降。如下图所示，荷兰与日本两国几乎垄断了步进光刻设备在中国大陆的进口，2022年来自其他贸易地区的进口金额占比仅1%；其中，来自荷兰的进口金额远大于日本，2022年来自荷兰的进口金额占比达71.3%。

其他光刻设备数据明细：

相比于步进光刻设备，其他光刻设备的进口金额在2022年则波动较大。以贸易地区来看，荷兰与日本同样占据了大部分进口，但其他贸易地区的占比相较步进光刻设备稍大一些，*近12月占比4.2%。

干法刻蚀设备数据明细：

自2022年9月起，干法刻蚀设备进口金额明显减少。10~12月，总进口金额为719.3百万美元，同比减少26.1%，环比减少34.1%。如下图，在2022年，来自美国的进口金额占比显著减少，来自马来西亚的则显著增加。2022年，来自美国与马来西亚的进口金额占比分别为17.8%与19.3%，去年的这组数字为31.7%与7.8%。

其他刻蚀设备数据明细：

其他刻蚀设备的进口金额在2022年整体呈下降趋势，*近3月，进口金额为148.7百万美元，同比减少45.6%。2022年，来自日本的进口金额占比近六成；来自韩国的年进口金额则大幅减少，同比减少63.3%。

离子注入设备数据明细：

2022年下半年，离子注入设备进口金额走势与去年同期十分相似，较为稳定，*近3月进口金额同期下降8.6%。美国是离子注入设备的主要进口来源，2022年，来自美国的进口金额占比达67.5%。但是在12月，来自美国的进口金额大幅减少，来自日本的则大幅增加。

其他设备数据明细：

2022年，其他设备的进口金额走势较为稳定，年进口金额为2243.6百万美元，同比减少13.2%。如下图所示，来自日本的进口金额占比长期约50%；来自奥地利的进口金额在2022年大幅增加，同比增加50.7%。

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