名家专栏
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朱贻玮
朱贻玮
1963年毕业于清华大学无线电系半导体专业。在我国半导体和集成电路产业界工作三十多年。曾参与我国第一台第三代电子计算机所用集成电路的研制工作,参加我国第一个半导体集成电路专业化工厂——位于北京的国营东光电工厂的建设,并长期负责该厂技术领导工作。之后参与北京燕东微电子联合公司4英寸芯片生产线引进的组织领导工作。多次参加国家五年计划集成电路行业规划工作,并在北京电子振兴领导小组办公室主管集成电路工作五年。获得教授级高级工程师职称。 1997年继续为海峡两岸集成电路产业界的合作做贡献,同时专注于我国集成电路产业
中国集成电路产业60年发展历程与回顾(四)
2026-09-10 27
中国集成电路产业60年发展历程与回顾 (二)60年发展回顾 中国台湾地区集成电路起步在大陆之后,在上世纪70年代中期,从美国RCA公司引进7微米铝栅CMOS工艺技术,并派一批人员赴美培训,同时建立集成电路示范厂,于1977年10月开始制造集成电路。示范工厂运作到1979年,电子工业研究发展中心改组为电子工业研究所,讨论后决定筹组公司,而电子所进行更尖端的研发。于是到1979年9月在民间成立联华电子公司(简称联电)筹备处,并于1980年5月正式成立联电公司,在1979~1981年间陆续从电子所移转技术,建立台湾第一条4英寸芯片生产线,于1982年4月投产,并于1984年成立开发部门,自己进行产品和工艺的开发,从而走上良性成长阶段。1985~1986年间,电子所在执行“超大型积体电路(超大规模集成电路)计划”中建了一座6英寸晶圆实验工厂之际,工研院院长张忠谋提出将实验工厂转为民营专业代工公司,这样,在1987年2月第一家专业积体电路制造厂──台湾积体电路公司(简称“台积电”)由此产生,与飞利浦公司合作,接受飞利浦公司2微米超大型积体电路技术移转。从此开始,世界集成电路产业进入代工时代,始终由台积电领跑。发展到今天,台积电不仅在代工营业额上遥遥领先,而且在技术水平上也已赶上并超过美国,台积电7纳米技术2018年4月投入生产,5纳米技术也于2020年顺利量产,并且全球首座3纳米芯片工厂于2020年开工建设,并于2022年12月投入生产。台积电2纳米工厂于2022年开始建设,计划于2025年第四季度正式量产。台积电1.4纳米制程技术已获重大突破,1.4纳米工厂计划于2025年10月开始建设,总投资392~490亿美元。预计2027年底前试产,2028年下半年正式量产。 表四、台积电技术水平进展表 技术 7纳米 5纳米 3纳米 2纳米 1.4纳米 投产年 2018年 2020年 2022年 2025年 2028年 继联电和台积电之后,台湾成立一批集成电路制造公司,有代工模式的,也有IDM模式,如华邦、华隆微、旺宏、德基、茂矽、合泰、华智等,之后还有世界先进、南亚、力晶、茂德、华亚等。从1980年成立联电公司之后10余年时间里,台湾集成电路产业迅速发展。当1997年5月底大陆29人到台湾参加“两岸半导体学术研究与产业发展研讨会”的时候,整个大陆集成电路营业额仅是台湾地区营业额的十分之一。1997年两岸芯片线数量状况如下: 表五、1997年两岸芯片线数量 线别 4英寸 5英寸 6英寸 8英寸 合计 大陆 11 4 2 0 17 台湾 1 3 7 8 19 10年之后,到2007年,两岸芯片线数量状况成为: 表六、2007年两岸芯片线数量 线别 4英寸 5英寸 6英寸 8英寸 12英寸 合计 大陆 14 9 13 11 2 49 台湾 0 3 7 22 11 43 从以上10年变化看出,大陆和台湾地区都有很大变化,但台湾地区一直以大尺寸线为主,而大陆仍以中小尺寸线为主,可见技术水平和产量规模的差距。当大陆改革开放政策在各行业带来巨大变化之后,大陆的优惠政策也开始吸引台商到大陆来投资建集成电路芯片厂。在本世纪头10年里陆续建成苏州和舰8英寸厂、宁波中纬6英寸厂、上海松江台积电8英寸厂,还有珠海南科和福州福顺6英寸厂等。但是,即便是台商来建的厂,如中纬和南科也因各种原因不能坚持而退出历史舞台。就是国外集成电路大厂,如显赫一时的美国摩托罗拉公司,早在上海华虹之前,就到天津兴建8英寸厂,厂房都盖好了,在国际半导体市场处于低谷时暂缓购置设备而错过了时机,最后无奈转入中芯国际旗下。在2000年国发18号文件鼓励下,台商和海外华人纷纷前来大陆到处要想建芯片制造厂,有的已盖了厂房框架,有的连厂房都未建,许多单位先后一一消失了。由此可见,半导体集成电路制造业,特别是在中国大陆,其发展历程是极为困难而艰险的。也曾经有其他民营企业者涉足试验,像广东中山奥泰普公司6英寸厂投产不久就夭折了,又如湖南长沙创芯公司6英寸厂新建成功投了产,“爬坡”上不去也停线数年只能寻找新股东来接盘。 只是到了2014年,国家基于信息安全彻底认识到芯片的极端重要性,从而在6月公布了《国家集成电路发展推进纲要》,并于9月间设立了国家发展集成电路大基金,开始大力扶植集成电路产业,重点是集成电路制造业。截至2017年底第一期大基金累计投资67个项目,累计项目承诺投资额1188亿元。在3~4年间,在国家大基金推动和引领下,以北京为首,各地地方政府也相继设立集成电路基金,这就带来一系列12英寸芯片厂的兴建或扩产,包括厦门联芯、合肥晶合、泉州晋华、台积电南京、合肥长鑫,以及中芯国际、华虹─宏力─华力、长江存储等等。 第二期大基金成立于2019年10月,注册资本2041.5亿元。投资方向:聚焦半导体产业薄弱环节,包括晶圆制造、设备、材料、工具、封测等。资金撬动能力,预计可带动约7000亿元以上地方及社会资金。大基金二期已投资数十家企业,一直在积极进行投资活动。 而且,大基金三期也已于2024年5月成立,注册资本3440亿元,将更聚焦于光刻机、光刻胶、先进制程芯片(5纳米以下)、HBM存储等“卡脖子”环节。 重点回顾一下中国大陆集成电路芯片线数量进展历史。 表七、中国大陆集成电路芯片线数量 线别 4英寸 5英寸 6英寸 8英寸 12英寸 合计 2000年 15 6 3 1 0 25 2005年 14 8 8 9 2* 41* 2010年 15 9 17 14 6 61 2025年 —— —— 19 29** 50** 98 *曾统计12英寸线为1条,指北京中芯国际(后为2条),共计为40条(后为41条)。**为“深度求索”所提供数字,包括外资独资的海力士、英特尔和三星工厂的12英寸线在内。 大家可能要问:芯片线建了这个多,为什么芯片还要大量进口?看一看2000年全世界芯片线数量吧! 表八、2000年全世界芯片线数量 线别 4英寸 5英寸 6英寸 8英寸 12英寸 合计 世界 246 164 287 252 1 950 美国 45% 26% 29% 31% 日本 23% 47% 43% 26% 由此可见,2000年中国大陆25条线仅占世界2.6%,实际产出仅为1%,微乎其微。而美国和日本都有300多条线,各占世界总数的三分之一,日本每个县都有集成电路工厂。因此,期望国产电路自配率有较大幅度提高,还要大量建集成电路生产线。要知道长期国产电路自配率只有百分之十几,有人报道曾达27%,即使这样,还有近四分之三要依赖进口。我们过去做五年规划,几次提自产率目标为30%,有一次甚至提50%,都未能达到。近期提70%,要想实现此目标,需要付出巨大的努力才可能实现。 但是,在2014年开始执行大基金以来,经过第一期和第二期相继投入大量资金之后,各重点地区相继建设了一批8英寸和12英寸芯片生产线,到如今已有29条8英寸线和50条12英寸线(包括外资线),使集成电路产量得到大幅度提升。诚然,计划经济年代我国只要配国产整机,现在中国已成为世界电子整机装配大国,电视机、台式和平板电脑、手机,乃至洗衣机、电冰箱、空调、电饭煲等等,中国产量都在世界之首,它们里面的心脏都是“芯片”。中国大陆的整机生产规模发展太快了! 集成电路从美国开始,后来往日本移,这些年又往韩国和中国台湾地区移,有人预测下一波要往中国大陆移,这需要投入更多的资金、建设更多的芯片生产线。 现今已进入AI人工智能时代。AI时代下,集成电路的未来发展呈现出多维创新、软硬协同、生态共建的特点。它不再仅仅追求线宽微缩,而是通过设计方法的智能化(AI赋能EDA)、集成方式的立体化(3DIC/先进封装)、架构的专用化与异构化(DSA/Chiplet),以及产业链的紧密协同与自主创新,来共同满足一个由AI定义的智能算力新时代的需求。前景无限光明,人类要走的路还很长远。 老一辈中国集成电路产业闯路者们都指望如今奋斗在我国集成电路产业第一线的工程技术人员、工人和企业管理者们一如既往、不忘初心、前赴后继地担起这一历史重任来!期待热衷于出国深造的清华、北大等名校学子们学成早日回来报效祖国,像上世纪五、六十年代的大学生们那样,勇敢地跳进国家集成电路制造产业行业中来,不追求名利,埋头苦干10年、20年、30年,乃至终生!为振兴中国芯片制造业奋斗终生! 作者简介:朱贻玮 1937年2月2日生于上海市,原籍浙江省慈溪市龙山镇。共 产党员,教授级高级工程师。 1957年秋进清华大学无线电系学半导体专业,1963年夏毕业。 1963-1968年北京电子管厂(774厂)工作5年。参与研制固体电路(集成电路),供15所研制成我国第一批第三代电子计算机,奏出《东方红》乐曲。 1968-1987年参与创建我国第一家集成电路专业化工厂:国营东光电工厂(878厂),从技术员到技术科副科长、科长、副总工程师、副厂长。工厂生产的中速和高速集成电路供北京大学电子仪器厂于1973年研制成功我国第一台一百万次大型电子计算机。 1987-1997年参与创建北京燕东微电子公司,任副总经理。千方百计筹集资金从美国引进一条完整的4英寸芯片生产线,于1996年6月底通过国家验收。1989年曾参与首钢与日本NEC谈判,1990年曾参与908工程项目建议书编写工作。 1997年2月退休。1997年5月底赴台湾参加海峡两岸半导体交流会,从此开始从事两岸半导体集成电路产业交流与合作活动,发挥余热至今。曾作为顾问参与香港上华公司与华晶公司合作谈判全过程,并担任市场部顾问。曾参与筹建中纬积体电路(宁波)公司全过程,并担任市场部顾问。 著有三本书:《中国集成电路产业发展论述文集》、《集成电路产业50年回眸》和《追“芯”之梦》,分别于2006年、2016年和2022年出版。 本文采摘自“芯榜”,仅代表作者观点,如有侵权或异议请联系我们删除。
中国集成电路产业60年发展历程与回顾(三)
2026-09-10 28
中国集成电路产业60年发展历程与回顾 (二)60年发展回顾 从1965年底石家庄十三所鉴定第一种集成电路品种以来,中国集成电路产业到2005年已有40年历史。在2006年3月由新时代出版社出版的《中国集成电路产业发展论述文集》一书中,我用40篇文章记述中国40年建40条芯片生产线的历史。过了10年,在2015年完稿、2016年3月由电子工业出版社出版了增补版《集成电路产业50年回眸》一书,又增加了16篇文章,共计56篇文章,作为对50年发展过程的回眸。到今天,又过去10年,回顾60年的发展历程,更能体会到集成电路产业是一个高技术、高投资、高风险的产业。现在看来,这是一个超高技术(现已发展到3纳米、向2纳米乃至1.4纳米前进)、超高投资(现建一座12英寸厂高达几百亿美元)、高度风险(搞不好就会亏损)、竞争激烈(跟不上就要出局)的行业;但是,要是搞好了,进到前列,乃至成为领跑者,那就有极高的回报。 看看集成度(规模)上中国和美国的差距: 表一、集成度差距 规模 小 中 大 超大 特大 IC SSI MSI LSI VLSI ULSI 美国 1958年 1964年 1966年 1976年 1986年 中国 1965年 1972年 1972年 1986年 1999年 迟后 7年 8年 6年 10年 13年 从上表看出,由小规模到大规模,中国与美国的差距在6~8年,但是到后来超大规模和特大规模,差距越来越大,拉大到10~13年。 再看看芯片生产线硅片直径上中国与美国的差距(年): 表二、芯片生产线硅片直径差距 直径 2英寸 3英寸 4英寸 5英寸 6英寸 8英寸 12英寸 美国 1966 1972 1975 1982 1986 1988 1999 中国 1978 1980 1988 1992 1994 1999 2004 迟后 12 8 13 10 8 11 5 从上表看出,一般差距10~13年,短则8年,最后到12英寸时缩短到5年。中国第一条2英寸、3英寸、6英寸和12英寸线出现在北京,第一条4英寸、5英寸和8英寸线出现在上海。 中国与美国的差距更大的在于集成电路产业的规模上,也就是产量上。请看年产量的对比: 表三、集成电路产业规模差距 年产量 100万块 1000万块 1亿块 6亿块 美国(年) 1964 1966 1968 1972 中国(年) 1970 1976 1988 1996 迟后 6 10 20 24 从上表看出,美国从年产100万块增长到6亿块才用了8年,而中国则用了26年,差距从开始时6年,拉大了18年,增加到24年!这发生在1976年结束“文化大革命”后的20年间,产量规模越来越大,而差距则越来越远! 纵观60年的发展历程,从1965年多家研究所研制出集成电路样品,经过上世纪70年代初步形成工业生产,南北以上海无线电19厂和北京878厂为代表,在北京、上海、天津、江苏、贵州、甘肃等省市建起一批集成电路工厂,在计划经济年代自力更生地生产一大批小规模集成电路,供国内各部门整机单位和科学院各研究所使用。但是规模都较小,产量不大。在1978年国家进入改革开放年代之后,受到进口电路和走私电路的冲击,在激烈的市场竞争中,国内大多数集成电路企业先后纷纷退出历史舞台。 为了突破封锁和提高产量,在香港成立了爱卡、兴华和华科三家公司,三家都建立了4英寸芯片生产线,先于内地把月产片量突破10000片,华科还达到20000片,主要生产消费类电子产品,当时起了引领作用。但是这三家公司没有继续往前发展,尽管兴华公司还搞了一条小的5英寸线,最后在世界激烈竞争环境中也一一退出历史舞台,只是到后来在兴华原地建起了6英寸线。作为以前亚洲四小龙之一的香港,却没能像韩国、中国台湾和新加坡那样大力发展集成电路。 在改革开放的条件下,无锡742厂及之后的华晶公司,还有绍兴871分厂之后的华越公司,有幸走上技术引进道路。这一措施使得1985年电子工业部下放绝大部分直属企业后仅留下的742厂(1989年转为华晶公司),以及后来又收回绍兴871分厂(后改为华越公司)成为“七五”“八五”期间5大企业中的2家国有企业。前者先后从日本、德国和美国引进了3英寸、4英寸、5英寸和6英寸线,后者则从日本引进了5英寸线。742厂引进的3英寸线生产双极型电视机电路曾为我国电视机产业发展作出过很大贡献。而早在1973年,878厂在“文化大革命”中虽有从日本引进3英寸线的机遇,恰因当时的政治和经济原因未能实现。若有“假如”的话,则历史就会另写。但是,当华晶到后来技术引进时,资金不再是国家全部投资,其中部分资金要企业向银行贷款,加上那时候贷款利率很高,这导致华晶公司在执行908工程引进6英寸线之后,欠银行的债务累累,当时正处于“验收之日便是停线之时”的处境。这给予海外华人半导体团队带来组建香港上华公司来管理的机遇。但是1998年2月上华接管华晶MOS线后,仅解决部分亏损。可惜华晶没有利用上当年国家实行的债转股政策,最后资不抵债,到2002年以低价被香港中资企业华润集团收购。收购后华润又在厂区内建了一条6英寸线,取名晶芯半导体。后来华润公司又在无锡新区在上华公司盖的8英寸厂房里建了8英寸线,之后华润公司整体一直运营顺利。而实行债转股的华越公司则维持较长时间,也曾转让股份,但到2018年5月,华越5英寸线停产最后退出历史舞台。这说明单靠技术引进,虽能风光一时,但最终也难免成为过去的历史。 中外合资曾是一项较为不错的选择。上海成立的两家合资公司:贝岭和飞利浦(后改为先进),分别建立了国内第一条4英寸线和5英寸线。贝岭公司为配套程控交换机专用大规模集成电路立下了汗马功劳。它是邓小平视察过的唯一的集成电路工厂,又是国内第一家上市的集成电路制造企业。在4英寸线之后建了一条6英寸小线,但未能上量;后来虽然去浦东张江开发区盖了8英寸厂房,但未能走下去。最后卖掉4英寸线设备,净化厂房停产,变成一个没有生产线的设计公司(Fabless Design House)。而飞利浦公司后改为先进公司,在5英寸线之后很快建了6英寸线,在经济效益不错时上市后又在院内盖了一座8英寸厂,厂房虽然不大,但往前进取精神可嘉。到2018年10月上海先进与2017年成立的上海积塔半导体公司合并,到临港盖8英寸和12英寸线。至于北京首钢日电公司,与日本电气公司合资建了中国第一条6英寸线,曾经创造可喜的营业额,成为“九五”期间领先企业。但是在合资期限20年期满又续了两年后,由于日本电气公司当年世界第一宝座早已让位给美国英特尔公司,之后持续走下坡路,最后总部不再给北京首钢日电下订单,由于没转做代工而停产卖掉前道工艺设备,仅保留后部封装和测试,成为一家封测企业。到最后连封测都运营不下去,关厂将设备转给燕东公司。这样的结局说明合资企业中,中方不能主导企业经营方向,没有采取有力措施,在变化多端的世界集成电路市场面前,合资也不是一贴“万灵药”。 国家制定计划并实施的908工程和909工程,如前所述,908工程很不成功,由于立项审批和资金到位延迟,“抗战8年”才完成对外验收。1990年立项时,国外6英寸线才出现4年,如能两年建成,还是蛮不错的。本来是国内首先要建的6英寸线,到建成时变为第三条。更不好的结果是使得执行计划的华晶公司债台高筑,由于技术引进缺乏有市场的产品,造成“验收之日便是停线之时”的困境。最后迎来上华公司转向代工才找到出路。909工程情况好多了,吸取908工程的教训,国家重视,成为建国以来电子工业投资最大的工程,由电子工业部部长胡启立亲自挂帅出任董事长。但即使这样,工程完成后胡启立部长在所著《“芯”路历程》一书中追述说:“确实,当时并非不知道其中风险,只是风险之大,复杂程度之深,均远远超过我所预料。”实施结果,从1996年11月27日举行华虹公司超大规模集成电路芯片生产线奠基仪式开始,到1999年2月23日华虹NEC合资公司芯片生产线正式投片,用两年另三个月时间建成,这在中国集成电路产业发展历史上是前所未有的速度。投产后主要生产合资外方日本NEC公司的64兆位DRAM存储器产品,2000年正赶上国际半导体市场复苏,华虹NEC公司取得投产当年就盈利的良好业绩。但是好景不长,DRAM产品竞争最激烈,韩国三星公司后来居上,更大容量产品占据主流市场,连NEC公司本身都招架不住,更不容说缺乏自主开发能力的华虹NEC。这迫使企业决策考虑改往代工方向转变。一次在北京召开的首钢日电和华虹NEC的全国用户恳谈会上,连NEC公司也从日本派人前来参加,宣布要朝代工方向转变。最后实施结果,上海的华虹NEC 8英寸厂转型成功,而北京的首钢日电6英寸厂没有转为代工,到NEC公司不再下订单时,只能停产关线了。 当年5个重点扶植的骨干企业,首钢日电和华越先后退出历史舞台,贝岭成为设计公司,华晶被华润收购,只有先进存在而与积塔合并。而在“杠”外的小六子燕东却活下来了。 中国集成电路生产企业从原先IDM转向Foundry代工,是从上海飞利浦公司开始承接国际飞利浦的订单开始的,到无锡华晶MOS事业部交给香港上华公司委托管理后,正式成为纯粹的中性代工企业。之后新建的芯片生产线大多是采用代工模式,无论是6英寸线,8英寸线,还是12英寸线,如中芯国际和宏力代工大厂等。除非原企业仍然采用IDM模式者,如燕东、士兰微,以及做存储器的长江存储等,或国外来华建厂的IDM大厂。 本文采摘自“芯榜”,仅代表作者观点,如有侵权或异议请联系我们删除。
中国集成电路产业60年发展历程与回顾(二)
2026-09-10 30
中国集成电路产业60年发展历程与回顾 点击看:陈南翔作序!朱贻玮:中国集成电路产业60年发展历程与回顾(一) 八、具有特色的典型企业(北京燕东、杭州士兰微、深圳方 正微电子) • 北京燕东公司:电子部关于集成电路"七五"行业规划(1986~1990年)建设南北两个微电子基地,要在上海和北京重点发展集成电路。进一步明确南方在上海要建贝岭公司,北方在北京要建燕东公司。贝岭为中外合资公司,新建4英寸厂;燕东则是在北京市半导体器件二厂内利用未建完的净化厂房和878厂引进的一部分4英寸工艺设备进行技术改造建4英寸线。前面已述,贝岭公司在1988年建成中国第一条4英寸线。而燕东公司则因资金原因历经进出首钢曲折道路,从美国引进一条4英寸线,一直到1996年6月才完成验收。这时国内集成电路5大骨干企业:无锡华晶、绍兴华越、上海贝岭、上海飞利浦、北京首钢日电,都已建成投产。燕东公司采用"回马枪"策略,利用4英寸线的有利条件,回过头来主攻半导体分立器件,首先使企业在激烈的国内外竞争中立住脚。然后,在"退一步"之后"进两步",逐渐提高集成电路投片比例,并在2007年3月建成一条6英寸线,到2013年底月产量达到30000片。2019年在亦庄经济技术开发区新建8英寸厂建成投产,2021年底月产量达40000片,并且又建了一条12英寸线。燕东公司4英寸和6英寸线时仍然采用IDM模式,8英寸线则采用代工模式。成立于1987年、历经35年的国营企业,如今燕东已是一家上市企业,2022年12月6日燕东微在科创板上市。 • 杭州士兰微公司:上世纪80年代,在改革开放的浪潮中,7位年轻人从国有企业绍兴871分厂出来下海,与一位台湾老板结合,成立友旺合资公司,这是一个产品公司,先后承包了辽宁丹东半导体总厂和福建福州一家新建的4英寸厂,经营半导体分立器件和双极型集成电路。若干年后,到1997年9月,这7人组成的团队单独成立杭州士兰电子有限公司,主要从事MOS型集成电路产品经营。正赶上无锡华晶MOS事业部于1998年2月开始由香港上华公司经营代工模式。这样,两者相互支持,一起快速成长。到2000年10月,整体改制为杭州士兰微电子股份有限公司,并于2003年3月在上海上市。就在上市前1月份,士兰微公司在杭州下沙地区自己建立的5英寸芯片生产线开始投入生产,这标志着从一个产品公司转变为IDM模式的集成电路生产企业。并在宁波中纬公司之后不久也建成1条6英寸线。而且, 产品还拓展至LED半导体照明发光二极管领域。后来又新盖了8英寸厂房,买了8英寸设备投入运行。发展到2017年底,士兰微与厦门市海沧区人民政府签订合作协议,士兰微与厦门半导体投资集团公司共同投资170亿元在厦门建设2条90~65纳米特色工艺12英寸线,已于2020年12月投产;并且共同投资50亿元建设4/6英寸兼容先进化合物半导体器件生产线。士兰微公司不仅是中国第一个民营集成电路制造企业,而且它是一个成功的IDM企业,从5英寸线、6英寸线、8英寸线,一直发展到12英寸线。 • 深圳方 正微电子公司:深圳方 正微电子有限公司6英寸集成电路芯片加工厂是我国头一家由整机单位建成、投产的芯片厂,这在我国半导体芯片业界里是一件很罕见、恰又很新鲜的事情。方 正集团因何原因决心投身加入芯片加工行列呢?众所周知,方 正集团是由研发、生产激光照排印刷机起家,逐渐发展为多门类、多领域的IT系统整机企业,它生产的产品包括电子出版系统、电脑、显示器、扫描仪、手机、印刷电路板等。方 正集团领导层最后认识到,IC芯片是各种电子整机的核心, IC芯片制造是所有IT整体的核心技术。为此,方 正集团下决心进军这一至高的技术领域。2003年12月7日方 正集团公司派出旗下一个公司的女总裁,第一次前往深圳,探索要在深圳筹建一座集成电路芯片厂的项目。这位女总裁是财务出身的企业经营者,在集团内曾在几家公司工作过,有创办新公司的经验。但在这次想象不到会遇到这么多的新问题、会碰到这么多的难题。对于什么是集成电路、它的芯片制造厂是什么样子、芯片是怎样制造出来的等众多问题都很不了解的她,却勇敢地接受了这一艰巨任务。在2003年12月26日成立了深圳方 正微电子公司。深圳是改革开放的前沿城市,这时改革开放已经25年了,却从来没有一家集成电路制造厂建成过。上世纪80年代中期,就有电子口贵州083基地集成电路厂和航天口西安691厂派人到深圳成立公司筹建半导体厂,但遇到困难后都改搞电子整机装配了。进到90年代,又有多家海外公司来深圳企图筹建8英寸芯片厂,都相继失败了,其首次是由深圳赛格集团与意法半导体ST公司共同提出的,最后只是建成规模宏大的集成电路封装测试厂。深圳始终是我国芯片制造业的一块处女地。但是,就是北大方 正集团来到深圳"第一个吃螃蟹",在当初一无人才、二无技术的条件下,克服前所未有的重重困难,建起了净化厂房,购买安装调试了6英寸线设备,进行了工艺试验,于2006年10月14日举行建成投产仪式。到2009年12月,经过三年多时间"爬坡",达到月产20000片水平。后来又购买一条月产能为30000片的6英寸设备,再次进行"爬坡",最后达到两条线月产出50000片的预定目标,多年来一直保持着满负荷地运行。这是因为公司领导长期坚持勤奋学习、知难而进、广收人才、同甘共苦,才取得骄人的业绩,成为中国集成电路行业中一颗新星。 九、建设国际化代工大厂(上海北京中芯国际和上海宏力) 为了加速发展集成电路和软件产业,国家于2000年6月底公布了18号文件,在此文件鼓励下,在上海浦东张江开发区先后建立了中芯国际和宏力两家公司,先是中芯国际建成3条8英寸芯片生产线,紧随其后,宏力公司建了两座12英寸洁净厂房,在其中一座厂房里建成1条8英寸线。这两家公司都是在海外注册,吸引海外投资,都采用代工模式,招募具有台湾背景的海外华人经营管理和技术团队来经营,而且两公司的领军人物都在无锡上华公司工作过,具有和中国大陆管理和技术人员合作的经验。 北京中芯国际公司 在8英寸线建设上,北京落后于上海。但北京又吸引中芯国际来北京,结果用两年时间在亦庄经济技术开发区建成了中国第一条12英寸芯片生产线,它在2004年9月底投入生产。这时滞后世界只有5年,在建新一代芯片生产线的历史上拉近了与世界的差距。从此,中芯国际成为中国集成电路制造业的领跑者。中芯国际后来又收编了美国摩托罗拉公司在天津在建的8英寸厂,又到深圳先后建了8英寸线和12英寸线,并协助武汉建了新芯公司12英寸线、协助成都建了8英寸线。后来又在绍兴和宁波建8英寸线。 由于在21世纪初在上海建设成中芯国际和宏力两家代工企业,使中国大陆集成电路制造业向前推进了一大步。 十、台湾公司来大陆建厂(苏州和舰、宁波中纬、上海台积电松江、厦门联芯、合肥晶合、台积电南京、泉州晋华) 台湾公司在21世纪初在大陆政府发布18号文件的鼓励下,也陆续到大陆建芯片厂。 最早台湾团队在江苏苏州工业园区于2001年11月注册成立和舰科技(苏州)有限公司,建设一条8英寸芯片生产线,于2003年5月正式投产。然后,2002年2月在浙江宁波保税区注册成立中纬积体电路(宁波)有限公司,建设一条6英寸芯片生产线,从台湾台积电购买其一厂的二手设备,在2004年6月正式投产。紧接着2003年8月,台积电(中国)有限公司在上海松江科技园区注册成立, 建设一条8英寸芯片生产线,于2004年12月投产。 图:宁波中纬公司 发展到后来,台湾公司经过与大陆地方政府多年沟通谈判,纷纷到大陆来建12英寸芯片生产厂。先有联电公司于2014年10月到福建厦门合作建联芯公司,做代工。再是力晶公司于2015年5月到安徽合肥合作建晶合公司,生产液晶面板LCD驱动电路。然后,台积电公司于2016年5月到江苏南京成立台积电(南京)公司,独资建12英寸厂,技术为16纳米,于当年7月动土建厂,已于2018年4月建成投产出片。再是联电公司又于2017年到福建泉州晋江合作成立晋华公司,于当年7月开工建设,拟生产DRAM产品。之后还有其他公司在积极洽谈中。 十一、外资独资来华建厂(无锡海力士、大连英特尔和西安三星) 韩国海力士公司首先到中国江苏无锡来建芯片制造厂,这是为了与韩国三星公司竞争存储器产品市场。海力士公司于2004年11月与意法半导体公司签订在中国合资建厂协议,2005年4月海力士-意法半导体公司在无锡举行开工典礼。在当地银行贷款支持下,12英寸厂迅速建成并投入生产。不久其12英寸硅圆片月产量很快达到中国大陆地区最高水平。后来又进行二期扩充,生产DRAM和闪存(Flash)产品。 之后,世界上最有名的美国英特尔公司于2007年3月26日在北京宣布,要在大连建立亚洲首家工厂(英特尔Fab 68号厂)。之前以色列、印度,以及美国本土许多城市都争取该项目,最终大连脱颖而出。该厂投资25亿美元,建成12英寸芯片生产线后采用90纳米工艺技术,生产PC机上一部分芯片。由于世界市场上存储器需求量大增,价格上涨,英特尔大连工厂也转向生产NAND Flash 闪存产品。 2025年4月份海力士完成对大连英特尔工厂的收购和整合,更名为爱思开海力士半导体(大连)公司。 韩国三星电子公司见到海力士公司到中国设厂后产能大增,之后也来中国选址建厂,最后选中陕西西安,在2012年9月成立三星(中国)半导体公司,投资100亿美元,于2014年月5年建成12英寸芯片生产线,工艺技术水平达到10纳米。它的月投片量是中国大陆所有12英寸厂中最大的线, 主打NAND Flash 闪存产品。又于2018年3月二期工程开工,再投资70亿美元,扩大产能。 此外,美国万国半导体公司在重庆成立重庆万国半导体公司,已于2016年4月开工建设12英寸芯片生产厂,在2018年年底建成投产。当年世界上芯片代工业位居第二位的格罗方德公司也于2017年2月到四川成都开工建设12英寸芯片生产线,投资90亿美元,技术为22纳米,公司名称取为"格芯"。但后因资金原因停建。 十二、国家大基金注入国家团队大企业(上海北京中芯国际、上海华虹─宏力─华力、武汉长江存储) 2014年6月工信部印发《国家集成电路产业发展推进纲要》,将集成电路产业发展上升为国家战略;9月国家集成电路产业投资基金设立,一期募资1387亿元,用于集成电路产业企业的股权投资,扶植产业链上的龙头企业。重点是加大对芯片制造业的投资力度,兼顾设计业和封测业。截至2017年9月,第一期大基金累计投资1003亿元,其中芯片制造业投资为主,占比为65%,在芯片制造业中,重点投向三大企业:中芯国际、华虹─宏力─华力、长江存储,以组成国家团队。 • 中芯国际公司:成立于2000年,现在是中国规模最大、技术最先进的集成电路芯片制造企业,是纯商业性的集成电路芯片代工厂,工艺技术为0.35微米到7纳米。它拥有7座8英寸厂(上海3座、天津1座、深圳1座、绍兴1座、宁波1座)和4座12英寸厂(北京2座、上海1座、深圳1座)。此外,曾帮助武汉新芯公司建成一条12英寸厂,帮助成都建过1座8英寸厂。2016年下半年起其北京12英寸厂第二期扩产,投资15亿美元,月产能从20000片增加到45000片。2017年4月28纳米工艺放量成长,14纳米开始营收,目前已达7纳米技术水平,向5纳米前进。又新增2条12英寸线,使月产量提高到11万片。近年来又在浙江绍兴和宁波各建1座8英寸厂。 北京中芯国际公司 • 华虹─宏力─华力公司:华虹公司成立于1996年,它是909工程在上海浦东金桥所建,当时是华虹NEC合资公司,早期生产日本NEC公司DRAM产品,后来转为代工厂,这是中国第一条8英寸线,后来又建了第二条8英寸线。华虹集团公司控股上海华虹NEC电子有限公司和上海贝岭股份有限公司。宏力公司成立于2000年,于2003年9月开业,它建成两座12英寸规格的洁净厂房,其中一厂A线(8英寸线)建成投产。2010年1月华虹与宏力联合投资,成立上海华力微电子公司,在宏力12英寸厂房内建设1条12英寸线,这称为"华力一期"。总投资规模为219亿元, 工艺水平可达到55-40-28纳米。2011年12月29日华虹和宏力联合宣布双方已完成了合并交易,然后到2013年1月24日成立了上海华虹宏力半导体制造有限公司。2016年11月"华力二期"动工建设,由上海华力集成电路制造公司承担建设和运营。总投资387亿元,再建1条12英寸线,月产能40000片,技术水平达到28-14纳米,于2018年10月投产。2018年3月2日华虹无锡集成电路研发和制造基地项目开工,一期投资25亿美元建1条12英寸线,月产能40000片,技术水平为90/65/55纳米,已于2019年9月投产。总投资将达100亿美元,要建几条12英寸线。 • 长江存储公司:紫光集团先收购武汉新芯公司部分股权,后成立长江存储公司。长江存储公司于2016年12月在湖北武汉注册成立,于12月30日开工建设新的12英寸厂,专攻3D NAND闪存产品。在新芯公司12英寸线上进行研发。长江存储公司投资386亿元, 股本结构为:紫光集团下的紫光国芯占51%,国家大基金占25%,湖北省政府占24%。在2018年内建成第一条12英寸芯片生产线开始投入生产,首先生产32层3D NAND产品,到2021年7月128层3D闪存产品量产。武汉存储器基地总投资240亿美元,到2020年形成月产能30万片的生产规模。紫光集团还计划在江苏南京和四川成都同步建设IC国际城,发展存储器相关产业。 十三、近几年新建几条芯片制造线 近几年来建设以下几条芯片制造线:重庆万国半导体、合肥长鑫、无锡华虹、上海积塔、广州粤芯、青岛芯恩、厦门士兰微、荣芯半导体、深圳润鹏、珠海天成先进。 1. 重庆万国半导体 • 2016年4月成立,为中外合资企业,外方为美国AOS公司(万国半导体科技有限公司)。 • 总投资10亿美元。 • 一期投资5亿美元,月产20000片12英寸片功率半导体芯片,在2018年11月投产。 • 计划二期再投资5亿美元,月产能50000片。 2. 合肥长鑫 • 2016年6月成立,总投资高达2200亿元。 • 2018年1月建成第一条12英寸线,2019年9月正式投产。 • 到2020年底,第一座12英寸厂已经达到月产40000片产能,自主研发生产内存DRAM产品,为19纳米工艺的DDR4和LPDDR4。 • 三期满产后预计月产36万片晶圆。 3. 无锡华虹 • 上海华虹到无锡盖新厂。 • 2017年10月成立华虹半导体(无锡)有限公司,简称华虹无锡,注册资本18亿美元,总投资100亿美元。 • 一期投资25亿美元,建90~65/55纳米工艺12英寸线,规划月产40000片。 • 2019年建成投入运营,代工生产功率器件。 4. 上海积塔 • 2017年11月成立,注册资本40亿元,总投资359亿元。 • 由华大半导体公司(中国电子信息产业集团CEC旗下公司)投资成立。 • 2018年8月在上海浦东临港建8英寸线厂房。 • 同年10月上海先进与积塔合并,专注模拟电路,主攻电源管理电路、IGBT功率器件。 • 2020年6月底8英寸线投产。 • 二期上12英寸线。 5. 广州粤芯 • 2017年12月成立。 • 2018年3月动工,2019年9月第一期建成投产,2020年12月满产20000片。 • 第二期新增月产能20000片也已经投产,月产能达到40000片,技术水平将达到55纳米。 • 第三期、第四期项目于2021年底动工,计划月产能各40000片,预计到2025年粤芯总产能将达120000片。 6. 青岛芯恩 • 2018年5月成立,总投资约150亿元,其中一期总投资约78亿元,建设8英寸线和12英寸线。 • 2021年8月8英寸线投产,投片产品为功率器件。 • 公司采用CIDM模式,即协同式(共享式)集成制造模式。 7. 厦门士兰微 • 2018年5月成立,其12英寸线生产线项目由厦门士兰集科微电子有限公司负责,总投资170亿元。 • 规划建设两条12英寸线,生产功率器件和MEMS传感器芯片。 • 第一条线总投资70亿元,一期投资50亿元,2020年12月正式投产。 • 二期投资20亿元,计划2021年底月产3万片。 8. 荣芯半导体 • 2021年4月成立,总部位于浙江宁波,是一家成熟制程(28-180纳米)特色工艺的12英寸线。 • 其股东背景多元,包括国有平台基金,以及众多著名产业机构和投资方,如美团、腾讯、韦尔股份(韦尔半导体)等。 • 2021年8月拍卖获得江苏淮安德淮半导体整体资产,盘活了原有资产,快速具备了制造能力。 • 总投资额一期投资87亿元,一期产能规划3万片12英寸片。工艺水平90-65纳米。已投入生产。 • 宁波生产线 • 总投资160亿元,已于2025年4月9日正式开工,致力于推动制程工艺向55纳米、40纳米和28纳米水平发展。 • 产能目标月产35000片12英寸片晶圆。 • 荣芯半导体规划到2030年总月产能20万片。 9. 深圳润鹏 • 润鹏半导体(深圳)公司是由华润微电子控股,并与深圳市地方国资等共同出资设立的。 • 在深圳建设12英寸芯片线。 • 一期总投资220亿元。 • 工艺技术为40纳米以上模拟特色工艺。 • 月产能40000片12英寸功率芯片。 • 于2022年10月开工建设,已于2024年12月31日通线投产。 10. 珠海天成先进 • 2023年3月30日项目开工建设。 • 这是一个12英寸晶圆级TSV立体集成生产线项目,致力于半导体先进封装与集成技术。 • 项目总投资30亿元,产能月产2万片。 • 2024年12月30日正式投产。 • 天成先进自主研发了名为"九重"的晶圆级三维集成技术体系。 • 项目首批投产了三大类型六款产品,产品应用于多个领域。 本文采摘自"芯榜",仅代表作者观点,如有侵权或异议请联系我们删除。
陈南翔作序!朱贻玮:中国集成电路产业60年发展历程与回顾(一)
2026-09-10 35
中国集成电路产业60年发展历程与回顾 中国集成电路60年,是一部从无到有、从追赶到并跑的奋斗史诗。从早期研究所的艰难起步,到"南北两霸"引领生产,从技术引进、中外合资的代工转型,到国家大基金推动自主创新——这条路充满坎坷,许多名字已随时代远去,却铸就了今天不能后退的"芯"征程。两岸产业互动共生,老一辈书写历史,新一代接过火炬。芯片虽小,事关国运;唯有自强,方有未来。这段"芯"路,仍在脚下。 序言 从中国多家研究单位研制出集成电路的1965年到2025年,中国集成电路产业的发展整整历经了60年!无独有偶,2025年也是中国半导体行业协会成立35周年之际! 在过去的60年中,中国集成电路产业经历了无数艰难坎坷,经历了几代人的努力,实现了从无到有、从有到全,现在已经进入从全到优的关键阶段。回顾60年的历程,中国集成电路产业经历了"巴统禁运下的计划经济时代"、"改革开放的市场经济时代"、"全球化发展的时代"以及当今的"自立自强时代"。以上历程看起来是集成电路产业发展的业内之事,实际上则反映出了我国发展工业和国民经济一个大时代的脉络,更反映出了国际关系的演变。 朱贻玮先生是我的长辈,以88岁高龄完成了《中国集成电路产业60年发展历程与回顾》一书。仔细想来,朱贻玮先生可能是国内最有资格和最有能力写这本书的人了。他自1963年清华大学无线电系半导体专业毕业后,就进入电子产业界,亲身经历、亲身参与、亲身见证了上述所有集成电路产业发展的大时代。 书中记录的一些企业,曾经在我国集成电路产业发展进程中举足轻重、叱咤风云,如今却消失在历史的长河中!阅读本书,历史的画面仿佛重现在眼前,让人不禁感叹岁月的造化!我相信这是本书最为珍贵的地方:它真实地记录了这些曾经的存在,为了永不会忘却的记忆。 自中国半导体行业协会成立的1990年到2025年,中国半导体产业历经35周年发展,已经从当初接近6亿人民币的产值,成长到2024年的1.44万亿人民币产业规模。毫无疑问地讲,如今的集成电路产业已经站到中美科技之争的最前沿。除了自立自强,我们已经没有任何退路可退。 恰逢此时,朱贻玮先生的《中国集成电路产业60年发展历程与回顾》大功告成。我相信,此书将会是中国集成电路产业人的精神传承,我们这一代产业人不仅要知道产业的未来在哪里,更要知道我们产业从哪里来,以及曾经走过的路! 值此机会,向朱贻玮先生以及中国集成电路产业的长辈们、探索者们致以最崇高的敬意! 中国半导体行业协会理事长长江存储公司董事长陈南翔 2025年11月4日 目 录 (一)中国集成电路产业60年发展历程 1. 中国集成电路早期研发状况(中国科学院半导体所、石家庄十三所等) 2. 工业生产初步形成(北京878厂和上海无线电19厂) 3. 探索突破量产途径(香港爱卡、香港兴华和香港华科) 4. 走上技术引进道路(无锡742厂─华晶、绍兴华越) 5. 转入中外合资阶段(上海贝岭、上海飞利浦─先进、北京首钢日电) 6. 908工程和909工程(无锡华晶和上海华虹) 7. 从IDM转向代工(Foundry)(上海飞利浦─先进、无锡华晶上华) 8. 具有特色的典型企业(北京燕东、杭州士兰微、深圳方 正微电子) 9. 建设国际化代工大厂(上海北京中芯国际和上海宏力) 10. 台湾公司来大陆建厂(苏州和舰、宁波中纬、上海台积电松江、厦门联芯、合肥晶合、台积电南京、泉州晋华) 11. 外资独资来华建厂(无锡海力士、大连英特尔和西安三星) 12. 国家大基金注入国家团队大企业(上海北京中芯国际、上海华虹─宏力─华力、武汉长江存储) 13. 近几年新建几条芯片制造线 (二)60年发展回顾 中国集成电路产业60年发展历程与回顾 (一)中国集成电路产业60年发展历程 1. 中国集成电路早期研发状况(中国科学院半导体所、石家庄十三所等)1947年美国贝尔实验室发明半导体点接触晶体管,1949年研制出锗合金晶体管。中国科学院应用物理所也于1956年研制出锗合金晶体管。1954年美国研制出硅合金晶体管。中国北京电子管厂(774厂)也于1958年研制出硅合金晶体管。就在1958年,美国得克萨斯仪器公司和仙童公司分别研制成半导体单块集成电路。1959年美国发明平面光刻技术,研制成功平面型扩散晶体管(简称"平面管")。1960年美国采用平面技术研制成集成电路,从此走上可以大量生产的道路。石家庄十三所于1962年、中国科学院半导体所也于1963年研制成平面管,同时有多家单位也在研制平面管。紧接着,中国多家研究单位于1965年分别研制出集成电路,有中国科学院半导体研究所、石家庄河北半导体研究所(简称十三所)、北京市无线电器件研究所(简称沙河器件所)、中国科学院156工程处等。而在1965年12月份,石家庄十三所首先在产品鉴定会上鉴定了一种采用介质隔离的单片DTL型数字电路,从此开始中国集成电路产业发展进程。在研究单位之后,工厂在生产平面型晶体管的基础上也自行研制集成电路。北方为北京电子管厂(774厂),南方为上海元件五厂,后者在1966年底召开了产品鉴定会,鉴定了一种采用国际上通用的PN结隔离技术的TTL型数字电路。由此看出,在上世纪五、六十年代,在半导体晶体管、平面管和集成电路起步阶段,中国距美国只有3~7年时间差距,相差并不是很远。 2. 工业生产初步形成(北京878厂和上海无线电19厂)为了加速发展集成电路,四机部决定建设3家集成电路专业化工厂,其中878厂建在北京,由774厂抽人筹建,在北京无线电工业学校内合作建厂。1968年开始建设,到1970年建成投产。878厂于1978年建成中国第一条2英寸线,滞后世界12年。与此同时,上海仪表局决定将上海元件五厂五车间搬迁到漕河泾建上海无线电19厂(简称上无19厂)。不久,在北京市和上海市相继建起了一批集成电路工厂,有北京市半导体器件二厂、三厂、五厂和上无七厂、上无14厂等。而且各地也纷纷建厂、或在原厂内建集成电路车间,例如常州半导体厂、苏州半导体厂、天津半导体器件一厂、贵州873厂和4433厂、甘肃749厂和871厂、锦州777厂等。加上各部门一些单位也上集成电路,中国科学院早就在北京成立了109厂,北京还有一机部机械自动化所和地质部北京地质仪器厂,外地有五机部蚌埠214所、七机部临潼771所和西安691厂等。热潮最高时,全国有33个单位引进24条3英寸生产线设备,但是大多数为二手设备。当时处于低水平的重复引进,最后建成投产的只有6~7条线。其中878厂于1980年建成中国第一条3英寸线,滞后世界8年。其他有甘肃871厂及其绍兴分厂、七机部临潼771所、常州半导体厂等。上世纪70年代,在计划经济环境下,南方上无19厂和北方878厂号称"南北两霸",全国集成电路工业生产初步形成,自力更生地生产各种小规模集成电路(包括数字电路和线性电路)供应各工业部门和科学院各研究所研制和生产各种电子整机使用,包括工业应用和国 防 军 工需求。 图:八七八厂大净化厂房一中国第一座洁净厂房 图:建设878厂的各届清华大学毕业生 3. 探索突破量产途径(香港爱卡、香港兴华和香港华科)全国各地集成电路工厂和研究所的芯片线虽然不少,但所采用的硅圆片尺寸都较小,开始都是直径十几毫米不规则圆片。第一条2英寸和3英寸线在北京878厂建成后,相继有几条3英寸线投产,其中影响较大的有陕西临潼771所、甘肃871厂及其在绍兴的分厂和常州半导体厂。但月产量都很小,只有几百片,最多上千片。为了突破4英寸硅片生产线和提高月产片量,通过不同渠道利用香港国际贸易自由港的优势,在香港大埔成立了3家公司:爱卡、兴华和华科,各自建成了4英寸芯片生产线。首先由华科公司生产消费类电路产品时突破月产20000片的水平,另两家公司月产量也在10000片以上。为此,当时全国半导体行业协会在南京召开会员大会时,邀请华科公司代表到会上作了典型发言介绍月产20000片的经验,以此推进各厂提高自己的产片量。 4. 走上技术引进道路(无锡742厂-华晶、绍兴华越)在国家于1978年末转入改革开放时代之后,我国集成电路产业由自力更生阶段转向技术引进阶段。第一个全面引进项目是无锡742厂(江南无线电器材厂)为电视机配套专用双极型模拟电路,从日本东芝公司引进完整的3英寸芯片生产线,从拉单晶开始,包括制版、3英寸硅圆片加工和封装测试。1984年达产,月投10000片3英寸片,成品年产量达3000万块,成为当时中国技术最先进、规模最大、配套最全、IDM(集成器件制造)模式的专业化工厂。这是中国集成电路业内第一次从国外全面引进技术的项目,前工序为5微米双极型模拟电路工艺,后工序为DIP型(双列直插式)塑料封装线。到20世纪80年代末742厂改为华晶公司后,又从德国西门子公司和日本东芝公司引进2~3微米MOS型数字电路工艺4英寸和5英寸芯片生产线,合计月投片能力11500片,以及包括DIP型、QFP型、SOP型和PLCC型塑料封装线。另一例子,甘肃871厂在浙江绍兴设立窗口后,成立871分厂,后又改名为华越。先后自行建设3英寸和4英寸二手设备芯片生产线后,后来到上世纪90年代又从日本富士通公司引进一条完整的5英寸芯片生产线,为2微米双极型数字电路工艺技术。 5. 转入中外合资阶段(上海贝岭、上海飞利浦─先进、北京首钢日电)在国家改革开放的浪潮下,上海集成电路企业开始探索中外合资的模式。首先是搞CMOS工艺的上无14厂在漕河泾建设新厂过程中,与比利时洽谈合资。当时国家正在上程控交换机扩大有线电话领域。为在上海成立的合资企业上海贝尔电话设备公司配套程控交换机专用集成电路,上海贝岭公司就应运而生。贝岭公司在1988年建成中国大陆第一条4英寸芯片生产线,滞后世界13年,采用2~3微米MOS电路工艺,首先生产程控交换机所用9种LSI(大规模集成)电路,后来又引进1.2微米CMOS电路工艺。它曾创造中国半导体工厂中最好的经济效益,又是国内头一家上市的微电子制造企业。紧随其后,由上海元件五厂、上无七厂和上无19厂与荷兰飞利浦公司洽谈合资,成立了上海飞利浦半导体公司。也在漕河泾于1992年建成中国第一条5英寸芯片生产线,滞后世界10年,采用3微米双极型模拟电路工艺。它本身没有产品,建成后初期主要为国际性的飞利浦公司加工,可以说是中国第一条Foundry线,只是为其他设计公司和产品公司代工是后来逐渐形成的。后来又在北京首钢日电之后建了一条6英寸MOS工艺线。公司后来改名为上海先进半导体公司。北京首都钢铁公司(简称首钢)为了拓展业务领域,在北京地区4家集成电路单位(两厂一所一公司:878厂、北京市半导体器件二厂、沙河器件所和燕东公司)的帮助下与日本电气公司经过谈判决定合资成立首钢日电公司,结果于1994年10月在北京建成中国第一条6英寸芯片生产线,滞后世界8年。1995年3月正式投产,采用1.2微米CMOS工艺。1995年销售额达9.1亿元,利润2.7亿元,创中国境内微电子产业最高年营业额的记录。原计划70%内销,有设计部,但结果长期主要生产日本电气公司的产品。 图:上海贝岭 图:北京首钢日电 6. 908工程和909工程(无锡华晶和上海华虹) • 908工程:1989年8月8日成立中国华晶电子集团公司(简称华晶公司),它是由无锡742厂和24所无锡分所(由四川永川24所MOS部搬迁而来)合并而成。当时中国电子报辟出专栏讨论:中国集成电路何处去?在专家、教授、工厂领导和政府主管官员广泛发表文章讨论之后,机械电子工业部于1990年2月从各单位抽调人员集中编写1微米集成电路项目建议材料,于当年8月份立项,命名为"908工程"。江苏、浙江、山东、上海各地都积极争取,最后部里决定1微米6英寸芯片生产线建设还是放在江苏无锡,由刚成立不久的华晶集团公司承担建设。但是由于项目审批和资金到位原因,直到1997年底才建成,前后历时8年之久。华晶公司从美国朗讯公司引进一条6英寸芯片生产线,流通0.9微米CMOS工艺2个产品,到1998年1月才通过对外合同验收。本来是起步最早的6英寸线,结果在北京首钢日电和上海飞利浦之后,成为第三条6英寸线。 上海华虹公司厂区 • 909工程:1993年3月国家决定将原机械电子工业部分开,成立新的电子工业部,任命胡启立为部长。鉴于我国集成电路产业严重滞后的状况,1995年电子工业部向国 务院提出了《关于"九五"期间加快集成电路产业发展的报告》, 当年12月中 央经济工作会议分组会上,胡启立部长作了关于《发展我国集成电路产业是重中之重》的专题发言。由此,909工程应运而生,决定实施909工程──在上海浦东建设一条8英寸0.5微米集成电路芯片生产线。国 务院决定由胡启立部长直接兼任董事长。由电子工业部和上海市人民政府共同成立"909工程项目推进委员会"。1996年11月27日上海华虹微电子有限公司超大规模集成电路芯片生产线奠基仪式在浦东新区金桥隆重举行。909工程是中国电子工业投资最大的工程,准备投资100亿元建设一条8英寸0.5微米CMOS工艺芯片大生产线。经过多方谈判,最后还是与日本电气公司(NEC)谈判成功,合资成立华虹NEC公司。初期注册7亿美元,中方出资5亿美元,日方出资2亿美元。1999年2月23日909工程超大规模集成电路芯片生产线建成正式投片。这是中国第一条8英寸芯片生产线,滞后世界11年。到2000年11月,月投8英寸硅圆片20000片,达到国际上规模经济水平,工艺为0.24微米的CMOS工艺技术,生产64 MB DRAM动态随机存取存储器产品。909工程胜利完成建设任务。 7. 从IDM转向代工(Foundry)(上海飞利浦─先进、无锡华晶上华)以前中国集成电路企业和国外公司一样,采用IDM模式,即集成制造模式,从电路设计、芯片制造到封装测试都由自己完成。1987年台湾成立台湾积体电路公司(简称台积电),提出Foundry(代工)模式,自己不搞设计,只做晶圆制造加工,接受设计公司或产品公司委托加工,另有封装测试公司。这样就形成设计业、芯片制造业和封装测试业三业并举的局面。中国大陆集成电路企业最早采用代工模式的是上海飞利浦公司,如前所述,开始主要为飞利浦公司加工,自己不做设计,后来改名为上海先进公司后加大为国外其他公司加工的比例,并逐渐增加为国内设计公司加工的比例。 纯粹的加工模式是在无锡首先实现的。华晶公司通过908工程引进一条1微米6英寸CMOS工艺线,之前还引进一条2~3微米5英寸MOS线,由于缺乏有市场的产品生产,MOS事业部多年亏损造成企业亏损负债运行。在大陆半导体界人士于1997年5月底赴台参加海峡两岸半导体交流会后,台湾半导体界代表回访大陆时赴无锡考察了华晶公司。然后双方经过近半年多次谈判,最终达成合作协议,由海外华人半导体人士组成香港上华半导体公司,以"来料加工,委托管理"的模式来经营华晶公司MOS事业部5英寸和6英寸线,从而由IDM模式转变成为国内外设计公司和产品公司服务的中性、纯粹的Foundry线,从1998年2月开始执行。从此真正开始了中国大陆的Foundry时代。双方经过合作、"软"合资,最后组成无锡华晶上华合资公司,产量逐年提升。最初时,中国大陆可供联系的IC设计单位仅为68家,包括公司、大学、研究所和整机单位的设计部门。经过两年时间,国内客户的比例就已上升到70%以上。由于代工企业出现并不断提高产量,带动愈来愈多的设计公司成立,设计公司像雨后春笋般地出现在全国各地,主要集中在北京、上海和深圳三个城市。然而,在研究所方面,有永川24所无锡分所改为华晶公司中 央研究所及之后又改为58所,以及上海冶金所都在上海飞利浦公司和华晶上华公司之前就部分采用代工模式,只是规模不大。 本文采摘自"芯榜",仅代表作者观点,如有侵权或异议请联系我们删除。
纪念两岸半导体交流会25周年
2022-06-06 618
·历史回顾: 25年前,1997年5月29日至6月2日,中国大陆半导体界29人经香港到台湾新竹参加《两岸半导体学术研究与产业发展研讨会》,从此推进了两岸半导体、尤其是集成电路行业之间的交流与合作快速向前发展。这次会议由台湾电子材料与元件协会(EDMA)发起主办,中国半导体行业协会(CSIA)配合组团赴台参会。会前EDMA秘书长冯明宪和CSIA秘书长陈文华做了大量筹备工作。大陆代表团由CSIA理事长楼洁年任团长,包含大学7人、研究所10人、.工厂公司7人、政府机关3人和协会2人。其中包括当时大陆主要的
朱贻玮,中国大陆半导体产业“摆渡人”记录与专访(连载一)
2022-03-27 605
朱贻玮先生用一生的坚持与勤奋的耕耘,印证了跟着中国共产党走、与伟大时代同行是最大的荣幸。他在回顾分享伟大时代的前进历程中,贯穿着扎根半导体集成电路产业创新创业的故事和感悟,畅谈感恩时代、不负时代、回报时代的家国梦想与情怀。
清 华 学 子 (半导体和微电子专业) 在我国半导体和集成电路 芯片制造业界的足迹
2022-03-17 643
清华学子(半导体和微电子专业)在我国半导体和集成电路产业界的足迹 (59级杜晋生、58级许同玉、55级郭懋沁提供部分素材) 前言 自二十世纪50年代中期开始,清华大学半导体专业开始培养出一批批毕业生。在校党委培养又红又专工程师的教育方针指导下,清华学子毕业时服从国家统一分配,毕业后有相当一部分前往社会主义工业化主战场:工矿企业,地区包括东南沿海大城市,以及大西北、大西南三线地区。他们在车间里从技术员做起,经过长期工程师工作,逐渐锻炼成为工厂里技术骨干,在国家独立自主、自力更生的方
对比,差距;思考,原因
2022-03-17 654
历史上在同一年份在不同地方出现相似的现象,但是过了几十年后两者恰发展到差异极大的不同。 让我们来看看发生在半导体集成电路行业里的例子。 1968年2月8日中国决定在北京建立878厂(东光电工厂)。就在同一年7月18日,在美国加州圣克拉拉成立了英特尔公司。50余年过去了,中国第一个集成电路专业化工厂878厂早已退出历史舞台,而美国英特尔公司营业额自1992年以后20多年里(除了2017和2018年外)位居全球第一。2019年达到657.9亿美元。 1987年6月北京
清华学子(半导体和微电子专业) 在我国半导体和集成电路产业界的足迹
2022-03-17 646
早期: 王建章(1955级半导体)长春市第二半导体厂副厂长、长春市半导体厂总工程师 黄汉祥(1955级半导体)上海元件五厂总工程师 王思详(1956级半导体)北京电子管厂(774厂)总工程师 于保良(1956级半导体)江南无线电器材厂(742厂)副总工程师 姚德禾(1956级半导体)湖北荆门东光电器厂(875厂)厂长 徐元龙(1957级半导体)上海元件五厂厂长、上海飞利浦公司副总经理 安继芸(1957级半导体)华晶公司副总经理、香港兴华公司董事长 徐治邦(1
未曾忘却的记忆:回旋在酒仙桥地区的集成电路梦
2022-03-17 891
未曾忘却的记忆:回旋在酒仙桥地区的集成电路梦 前言 人生七十古来稀,如今八十不稀奇。回想起在北京东郊酒仙桥地区工作35年、生活了55年的人生,一年一年看着以前的领导、同事、同学们一个个地离我们而去,想想自己今年刚过八十足岁不久,但不知余日还有几何?一旦两脚一伸什么都烟消云散,不如当脑子还有记忆的时候把往事写出来,留给后人看看,也许还有些用处。特别要学习我清华同班同学秦鹏顽强拼搏的精神,当他身患重病时还不停地写出自己一生的经历。他的榜样鼓励着我写下去。 以此文纪念四
中国集成电路产业发展艰难历程回顾
2022-03-17 762
一、中国集成电路产业发展艰难历程 1、中国集成电路早期研发状况(中国科学院半导体所、13所等)2、工业生产初步形成(878厂和上无19厂)3、探索突破量产途径(爱卡、兴华和华科)4、走上技术引进道路(742厂─华晶、华越)5、转入中外合资阶段(贝岭、飞利浦─先进、首钢日电)6、908工程和909工程(华晶和华虹)7、从IDM转向代工(Foundry)(先进、华晶上华)8、具有特色的典型企业(燕东、士兰、方正微电子)9、国际化建设代工大厂(中芯国际和宏力)10、台湾公司来大陆建厂(和舰、中纬、台积电松
中国集成电路产业发展长期落后原因分析
2022-03-17 635
前言 中国集成电路产业发展从1965年开始算起,到2015年已有50年历史,时至今日又过去2年半。我国起步时,距离美国只有7年时间。但是为什么我国集成电路长期处于落后状况?后来起步的韩国和我国台湾地区却跑到我们前面,获得了长足进步。今年改革开放已经40年,我国工业各部门都有很快发展,不少行业进入世界前列,特别是电子信息产业中各类电子整机的产业规模都在世界前三位。而唯独各类整机的心脏:集成电路,一般称为“芯片”,总是落后于整机之后,远远不能满足整机的需求,长期依赖进口。近几年进口集成电路所用的

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